高温PECVD系统
PECVD系统（集成气化装置）
三温区PECVD系统
离子溅射仪
高功率PECVD系统（旋转摆振）
双炉膛滑轨式PECVD
射频独立系统
PECVD等离子体化学气相沉积系统
等离子清洗机
离子溅射镀膜仪
